電解オゾン水・電解水素水製造装置
特徴
・オゾン水、水素水製造装置のメリットを同時に又は単独で利用が可能
・コンパクト化により二つの機能をミニマムのコストで実現
・フレキシブルな流量、濃度の調整可能
・オゾン水、水素水製造装置のメリットを同時に又は単独で利用が可能
・コンパクト化により二つの機能をミニマムのコストで実現
・フレキシブルな流量、濃度の調整可能
機種名 | オゾン 水濃度 (mg/L) |
オゾン 水流量 (L/min.) |
水素水 濃度 (mg/L) |
水素水 流量 (L/min.) |
外形寸法 (巾×奥行× 高さmm) |
質量 (kg) |
電源容量 (kVA) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
POHW-101010-S | 10 | 10 | >1 | 10 | 900 ×1,000 ×1,900 |
650 | 5.4 (3φ AC200V) |
POHW-201010-S | 20 | 10 | >1 | 10 | 900 ×1,000 ×1,900 |
700 | 11.9 (3φ AC200V) |
1.電力(電圧、周波数の確認)
2.純水(17MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下。溶存酸素濃度500ppb以下。含有過酸化水素濃度
50ppb以下)
3.冷却水(23℃±3℃)
4.制御エアー(0.5~0.7MPa)
5.排気ダクト
6.排水ライン(自然落下または強制排出)
1.オゾン水昇圧ユニット
2.オゾン水昇圧ユニット
a.電解オゾン水製造装置(POHW)
b.オゾン水濃度 例:10mg/L→10、20mg/L→20
c.オゾン水流量 例:10L/min.→10、20L/min.→20
d.水素水流量 例:10L/min.→10、70L/min.→70
e.半導体製造装置グレード(S)
f.無印→標準、P→ブースターポンプ内蔵