電解オゾン水・電解水素水製造装置
特徴
・オゾン水、水素水製造装置のメリットを同時に又は単独で利用が可能
・コンパクト化により二つの機能をミニマムのコストで実現
・フレキシブルな流量、濃度の調整可能
製品情報
電解オゾン水・水素水製造装置プロセス
標準モデルデータ
| 機種名 | オゾン 水濃度 （mg/L） |
オゾン 水流量 （L/min.） |
水素水 濃度 （mg/L） |
水素水 流量 （L/min.） |
外形寸法 （巾×奥行× 高さmｍ） |
質量 （kg） |
電源容量 （kVA） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| POHW-101010-S | 10 | 10 | ＞1 | 10 | 900 ×1,000 ×1,900 |
650 | 5.4 (3φ AC200V) |
| POHW-201010-S | 20 | 10 | ＞1 | 10 | 900 ×1,000 ×1,900 |
700 | 11.9 (3φ AC200V) |
ユーティリティ
１．電力（電圧、周波数の確認）
２．純水（17MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下。溶存酸素濃度500ppb以下。含有過酸化水素濃度
50ppb以下）
３．冷却水（23℃±3℃）
４．制御エアー（0.5～0.7MPa）
５．排気ダクト
６．排水ライン（自然落下または強制排出）
オプション
１．オゾン水昇圧ユニット
２．オゾン水昇圧ユニット
型式記号
ａ．電解オゾン水製造装置（POHW）
ｂ．オゾン水濃度 例：10mg/L→10、20mg/L→20
ｃ．オゾン水流量 例：10L/min.→10、20L/min.→20
ｄ．水素水流量 例：10L/min.→10、70L/min.→70
ｅ．半導体製造装置グレード（S）
ｆ．無印→標準、P→ブースターポンプ内蔵
製品に関するお問い合わせ 岡山事業所 環境水処理営業部 TEL 0863-71-3625