電解水素ガス発生装置

特徴
・オンサイトで必要な時に必要な量の安定
した濃度の高純度水素ガスを供給
・乾燥ユニットによりドライ水素ガスも供給
・発生圧力1MPa以下の高圧ガス取締法に該
当しない安全設計
・万一の水素漏れもガス検知器で検知し、
装置を自動停止する安全機構付
・オンサイトで必要な時に必要な量の安定
した濃度の高純度水素ガスを供給
・乾燥ユニットによりドライ水素ガスも供給
・発生圧力1MPa以下の高圧ガス取締法に該
当しない安全設計
・万一の水素漏れもガス検知器で検知し、
装置を自動停止する安全機構付
機種名 | 水素ガス純度 (%) |
水素ガス発生量 (g/時) |
外形寸法 (巾×奥行×高さmm) |
質量 (kg) |
電源容量 (kVA) |
---|---|---|---|---|---|
PHG-60-S | 4N | >5.4 | 500×600×600 | 120 | 1.5(1φAC200V) |
PHG-120-S | 4N | >10.8 | 500×600×800 | 140 | 3.0(1φAC200V) |
1.電力(電圧、周波数の確認)
2.純水(2MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下)
3.制御エアー(0.5~0.7MPa)
4.熱排気ダクト
5.排水ライン(自然落下)
1.水素ガス乾燥ユニット(露点-70℃以下)
2.水素ガス精製ユニット(6N以上)
3.純水器(原料水に水道水を使用する場合)
a.電解水素ガス発生装置(PHG)
b.水素ガス発生量 例:1L/min.→60, 2L/min.→120
c.半導体製造装置グレード(S)
d.無印→標準、D→水素ガス・ドライヤー内蔵