電解水素ガス発生装置
特徴
・オンサイトで必要な時に必要な量の安定
した濃度の高純度水素ガスを供給
・乾燥ユニットによりドライ水素ガスも供給
・発生圧力1MPa以下の高圧ガス取締法に該
当しない安全設計
・万一の水素漏れもガス検知器で検知し、
装置を自動停止する安全機構付
製品情報
電解水素ガス発生装置プロセス
標準モデルデータ
| 機種名 | 水素ガス純度 （％） |
水素ガス発生量 （g/時） |
外形寸法 （巾×奥行×高さmｍ） |
質量 （kg） |
電源容量 （kVA） |
|---|---|---|---|---|---|
| PHG-60-S | 4N | ＞5.4 | 500×600×600 | 120 | 1.5(1φAC200V) |
| PHG-120-S | 4N | ＞10.8 | 500×600×800 | 140 | 3.0(1φAC200V) |
ユーティリティ
１．電力（電圧、周波数の確認）
２．純水（2MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下）
３．制御エアー（0.5～0.7MPa）
４．熱排気ダクト
５．排水ライン（自然落下）
オプション
１．水素ガス乾燥ユニット（露点－70℃以下）
２．水素ガス精製ユニット（6N以上）
３．純水器（原料水に水道水を使用する場合）
型式記号
ａ．電解水素ガス発生装置（PHG）
ｂ．水素ガス発生量 例：1L/min.→60, 2L/min.→120
ｃ．半導体製造装置グレード（S）
ｄ．無印→標準、D→水素ガス･ドライヤー内蔵
製品に関するお問い合わせ 岡山事業所 環境水処理営業部 TEL 0863-71-3625