製品情報

什么是功能水

ここでいう機能水とは、「電解技術などにより、オゾンガスや水素ガスを生成し、水へ溶解させることで、特殊な機能を付与した付加価値の高い水溶液」です。当社製品の電解機能水製造装置は、超純水を電解し、オゾンガス、水素ガスを生成し、水へ溶解させることでオゾン水や水素水など機能水を製造する装置です。

電解機能水製造装置で製造されるオゾン水や水素水などの機能水は、液晶ガラス基板、ウエハーフォトマスク等のエレクトロニクスデバイス製造の各分野での精密洗浄工程で使用されています。

機能水はその酸化力や還元力を利用し、環境負荷に優しい洗浄水として、精密洗浄の分野で評価されております。

  • 「無公害性」:薬品を使用しない洗浄方式
  • 「簡便性」:大型の洗浄装置用装置ではないので、その設置スペースも小さく、配置も自由度が高い
  • 「クリーン度の高さ」:超純水から生成するため、不純物を含有しません。

電解機能水製造装置は、株式会社ピュアトロンの機能水製造装置の開発・製造ノウハウを活かし、クロリンエンジニアズ株式会社で更に進化を遂げ、RCA洗浄に変わる環境にやさしい装置として、環境社会へ貢献するとともに、多様化するニーズに応えていきます。

各種機能水の機能:様々な用途で幅広く使用