製品情報

電解オゾンガス発生装置

特徴

・200g/m3(N)以上のオゾンガスを安定供給
・ドライオゾンガスの供給も可能(乾燥ユニット併用)
・自由にオゾンガス発生量調整可能



用途

半導体製造分野:CVD用、薬液に混合し酸化剤として利用



オゾンガス発生装置プロセス

図:オゾンガス発生装置プロセス

標準モデルデータ

機種名 オゾンガス
濃度
(g/m3(N))
オゾンガス
発生量
(g/時)
外形寸法
(巾×奥行×高さmm)
質量
(kg)
電源容量
(kVA)
POG-24-S 200以上 24以上 600×800×1,500 250 6.8(3φAC200V)
POG-48-S 200以上 48以上 600×800×1,700 350 11.9(3φAC200V)
POG-120-S 200以上 120以上 1,200×1,300×2,000 500 18(3φAC200V)

ユーティリティ


1.電力、(電圧、周波数の確認)
2.純水(2MΩ・cm以上の超純水)
3.冷却水(23℃±3℃)
4.制御エアー(0.5~0.7MPa)
5.熱排気ダクト
6.排水ライン(自然落下)

オプション


1.排オゾンガス分解触媒ユニット
2.オゾンガス乾燥ユニット(露点-70℃以下)
3.高圧オゾンガス発生ユニット(~400kPa)
4.環境オゾンモニタ

型式記号


型式記号サンプル
a.電解オゾンガス発生装置(POG)
b.オゾンガス発生量(例:4g/時→04、48g/時→48、240g/時→240)
c.半導体製造装置グレード(S)
d.無印→標準


製品に関するお問い合わせ  岡山事業所 環境水処理営業部 TEL 0863-71-3625